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龍行龘龘 !TSI®中國(guó)2024 授權分(fēn)銷商大(dà)會在京成功舉辦!
新歲序開,同赴新程。3月7日(rì)~8 日(rì),TSI®中國(guó)在北京首鋼園成功舉辦了2024 授權分(fēn)銷商大(dà)會。
采樣解決方案--用于半導體(tǐ)晶片制造(Fab)的工(gōng)作(zuò)場所
工(gōng)作(zuò)場所空氣中蒸氣态苯、甲苯、二甲苯的測定--無泵型采樣
工(gōng)作(zuò)場所空氣中蒸氣态苯、甲苯、二甲苯濃度的無泵型采樣-氣相(xiàng)色譜法
GBZ/T 300.66-2017部分(fēn)規定了工(gōng)作(zuò)場所空氣中苯、甲苯和二甲苯的三種檢測方法:無泵型采樣、溶劑解吸和熱(rè)解吸-氣相(xiàng)色譜法。
溶劑解吸和熱(rè)解吸-氣相(xiàng)色譜法需要佩戴空氣采樣泵進行長時或短(duǎn)時采樣,并對流量進行監控。無泵型采樣隻需要使用有 機(jī)蒸汽采樣器,采樣過程不需要空氣采樣泵,所以也叫做無泵型采樣或被動式采樣。
被動式采樣是基于分(fēn)子擴散原理(lǐ)或滲透原理(lǐ)采集溶媒中氣态或蒸氣态污染物的一種采樣方法,與主動式采樣器比較,其主要特點在于不需要任 何電源和抽氣動力。這種采樣器具有體(tǐ)積小、質量輕、操作(zuò)簡便、易維護和安 全可(kě)靠的特點。
原理(lǐ)
空氣中的蒸氣态苯、甲苯和二甲苯用無泵型采樣器采集,二硫化碳解吸後進樣,經氣相(xiàng)色譜柱分(fēn)離(lí),氫焰離(lí)子化檢測器檢測,以保留時間定性,峰高或峰面積定量。
儀器
無泵型采樣器,内裝活性炭片。美國(guó)SKC575型
樣品的采集
使用美國(guó)SKC575型被動式采樣器長時間采樣:在采樣點,将SKC575型采樣器佩戴在采樣對象的呼吸帶,或懸挂在呼吸帶高度的支架上,采集 2h~8h 空氣樣品。采樣後,立即密封SKC575型采樣器,置清潔容器内運輸和保存。樣品在室溫下可(kě)保存 15天。
分(fēn)析步驟
1、樣品處理(lǐ):從(cóng)采樣器背面取出小塞子,用鑷子取下泡沫盤。将吸附劑轉移到小瓶中。輕輕敲擊采樣器,将所有吸附劑顆粒從(cóng)采樣器中取出。将活性炭片放(fàng)入溶劑解吸瓶中解吸 30min。
2、标準曲線的制備:用二硫化碳稀釋标準溶液制成一定濃度的标準系列,用氣相(xiàng)色譜分(fēn)别測定标準系列各濃度的峰高或峰面積并對相(xiàng)應的苯、甲苯和/或二甲苯濃度(μg/mL)繪制标準曲線。
3、樣品測定:用測定标準系列的操作(zuò)條件(jiàn)測定樣品溶液和樣品空 白(bái)溶液,測得(de)的峰高或峰面積值由标準曲線或回歸方程得(de)樣品溶液中苯、甲苯和/或二甲苯的濃度(μg/mL)。
計(jì)算
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