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龍行龘龘 !TSI®中國(guó)2024 授權分(fēn)銷商大(dà)會在京成功舉辦!
新歲序開,同赴新程。3月7日(rì)~8 日(rì),TSI®中國(guó)在北京首鋼園成功舉辦了2024 授權分(fēn)銷商大(dà)會。
采樣解決方案--用于半導體(tǐ)晶片制造(Fab)的工(gōng)作(zuò)場所
美國(guó)TSI DUSTTRAK™ II 8530/8532 ,8533/8534型型氣溶膠監測儀操作(zuò)原理(lǐ)
DUSTTRAK™II 8530/8532,8533/8534型氣溶膠監測儀是用于實時氣溶膠質量濃度檢測的單通道光(guāng)度計(jì)檢測儀。其中8530(測量範圍高達400mg/m³)是台式型号,而8532是量程爲150mg/m³的手持式型号。如(rú)下方原理(lǐ)示意圖所示,泵的連續采樣流量爲3L/min,待測氣溶膠被吸入檢測室。其中1L/min的采樣流量進入旁路(lù)并經過過濾器過濾後作(zuò)爲鞘氣再次包裹着另外2L/min的待測樣品進入檢測室。
原理(lǐ)示意圖
在檢測室中,由激光(guāng)二極管發出的可(kě)見(jiàn)光(guāng)波長範圍的激光(guāng)束照(zhào)射待測物。激光(guāng)二極管發出的光(guāng)通過準直透鏡後再通過柱面透鏡形成一道細的照(zhào)射光(guāng)束。一個鍍金的球面反射鏡捕捉到顆粒物産生(shēng)的散射光(guāng)并将它們彙集到光(guāng)度計(jì)檢測器上。在整個濃度範圍内,光(guāng)度計(jì)檢測器的電壓與氣溶膠的質量濃度成正比。電壓乘以一個校(xiào)正常數(轉換系數K)得(de)到顆粒物的質量濃度,K值由測試氣溶膠的已知質量濃度與DUSTTRAK™II的電壓響應比值确定。典型的測試氣溶膠是亞利桑那測試塵(或ISO12103-1的A1測試塵)。
像光(guāng)度計(jì)這類光(guāng)散射儀器的電壓響應與質量濃度是呈線性關系的。散射光(guāng)的大(dà)小取決于氣溶膠的粒徑分(fēn)布,折射率,形狀因子和氣溶膠的密度。校(xiào)準過程中,根據光(guāng)度計(jì)檢測儀電壓變化反映的校(xiào)準氣溶膠光(guāng)散射響應強弱是與氣溶膠的密度有關的。氣溶膠的粒徑分(fēn)布也影(yǐng)響儀器的響應。可(kě)以利用基于Mie散射理(lǐ)論的一組複雜的方程通過數學建模的方法模拟顆粒物的光(guāng)散射。對于不同特性氣溶膠的儀器響應變化是市場上所有基于光(guāng)度計(jì)測量方法的氣溶膠監測儀的共同特性。
爲了提高質量濃度的測量精度可(kě)以通過DUSTTRAK™II與采樣稱重方法的平行比對測試來(lái)修正校(xiào)準系數。8530台式型的監測儀帶有一個安裝在光(guāng)學檢測室采樣出口氣路(lù)上的37mm采樣濾盒,用戶可(kě)以在沒有外置采樣泵和采樣頭時使用它來(lái)進行一個采樣稱重的比對分(fēn)析。
DUSTTRAK™II氣溶膠監測儀配有一套TSI設計(jì)的撞擊式粒徑切割器(PM1,PM2.5,呼吸性粉塵/PM4和PM10),用戶根據需要可(kě)以進行不同粒徑範圍的采樣檢測。撞擊式粒徑切割器可(kě)以很容易的安裝在DUSTTRAK™II的進樣口上。對于呼吸性粉塵,同樣提供了一個Dorr-Oliver旋風(fēng)分(fēn)離(lí)器作(zuò)爲标準附件(jiàn)。所有的TSI撞擊式粒徑切割器流量要求都(dōu)是3.0L/min。Dorr-Oliver旋風(fēng)分(fēn)離(lí)器在推薦流量1.7L/min時可(kě)以達到4µm呼吸性粉塵的粒徑切割效率。
TSI采用8587型參比光(guāng)度計(jì)校(xiào)準DUSTTRAK™II ,8587是采用ISO12103-1的A1測試塵(亞利桑那測試塵)經過重量法校(xiào)對過的。測試塵具有很寬的粒徑分(fēn)布,覆蓋了DUSTTRAK™II氣溶膠監測儀全部粒徑範圍,而且代表了各類的環境氣溶膠。
DUSTTRAK™II氣溶膠監測儀内部的光(guāng)學組件(jiàn)由于具有了鞘氣保護系統而能夠保持清潔。鞘氣能夠包裹待測氣溶膠通過檢測室,防止其在檢測室内擴散并沉積在光(guāng)學器件(jiàn)上。鞘氣也能夠提高儀器的響應時間。用戶也能夠配備用來(lái)定期更換的鞘氣濾筒和主流量過濾器,以确保采樣流量和鞘氣流量恒定。在這些過濾器過度使用後,DUSTTRAK™II的固件(jiàn)會自(zì)動檢測這些過濾器的使用壽命并警告用戶及時更換它們。
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