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相(xiàng)關新聞
龍行龘龘 ！TSI®中國(guó)2024 授權分(fēn)銷商大(dà)會在京成功舉辦！
新歲序開，同赴新程。3月7日(rì)~8 日(rì)，TSI®中國(guó)在北京首鋼園成功舉辦了2024 授權分(fēn)銷商大(dà)會。
采樣解決方案--用于半導體(tǐ)晶片制造（Fab）的工(gōng)作(zuò)場所
室内空氣中各類指标的檢驗方法
室内空氣中各類指标的檢驗方法
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序号 |
指标類别 |
具體(tǐ)指标 |
檢驗方法 |
方法來(lái)源 |
備注 |
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1 |
物理(lǐ)性 指标 |
溫度 |
一，玻璃液體(tǐ)溫度計(jì)法 |
GB/T 18204.1（3.1） |
/ |
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二，數顯式溫度計(jì)法 |
GB/T 18204.1（3.2） |
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2 |
相(xiàng)對濕度 |
一，電阻電容法 |
GB/T 18204.1（4.3） |
/ |
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二，幹濕球法 |
GB/T 18204.1（4.1） |
||||
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第三法，氯化锂露點法 |
GB/T 18204.1（4.2） |
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3 |
空氣流速 |
電風(fēng)速計(jì)法 |
GB/T 18204.1（5） |
/ |
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4 |
新風(fēng)量 |
一，示蹤氣體(tǐ)法 |
GB/T 18204.1（6.1） |
/ |
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二，風(fēng)管法 |
GB/T18204.1（6.2） |
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5 |
化學性 指标 |
臭氧 |
一，靛藍二磺酸鈉分(fēn)光(guāng)光(guāng)度法 |
GB/T 18204.2（12.2）、HJ 504 |
一連續采樣至少45 min，推薦采樣流量0.4 L/min；二爲直讀(dú)法，監測至少45 min，推薦監測間隔10 min ~ 15 min，結果以時間加權平均值表示 |
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二，紫外光(guāng)度法 |
HJ 590 |
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6 |
二氧化氮 |
一，改進的Saltzaman法 |
GB/T 12372 |
一和二連續采樣至少45 min，推薦采樣流量0.4 L/min；第三法爲直讀(dú)法，監測至少45 min，推薦監測間隔10 min ~ 15 min，結果以時間加權平均值表示 |
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二，Saltzaman法 |
GB/T15435 |
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第三法，化學發光(guāng)法 |
HJ/T 167（附錄C.2） |
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7 |
二氧化硫 |
甲醛溶液吸收-鹽酸副玫瑰苯胺分(fēn)光(guāng)光(guāng)度法 |
GB/T16128 |
連續采樣至少45 min，推薦采樣流量0.5 L/min |
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8 |
二氧化碳 |
不分(fēn)光(guāng)紅(hóng)外分(fēn)析法（非分(fēn)散紅(hóng)外法） |
GB/T18204.2（4.1） |
直讀(dú)法，篩選法監測至少45 min，推薦監測間隔10 min ~ 15 min，累積法監測至少20 h，推薦監測間隔至少1 h，結果均以時間加權平均值表示 |
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9 |
一氧化碳 |
不分(fēn)光(guāng)紅(hóng)外分(fēn)析法（非分(fēn)散紅(hóng)外法） |
GB/T 18204.2（3.1） |
直讀(dú)法，監測至少45 min，推薦監測間隔10 min ~ 15 min，結果以時間加權平均值表示 |
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10 |
甲醛 |
一，AHMT分(fēn)光(guāng)光(guāng)度法 |
GB/T 16129 |
連續采樣至少45min，一推薦采樣流量0.4 L/min，二推薦采樣流量0.2 L/min，第三法推薦采樣流量1.0 L/min |
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二，酚試劑分(fēn)光(guāng)光(guāng)度法 |
GB/T18204.2（7.2） |
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第三法，高效液相(xiàng)色譜法 |
附錄B |
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11 |
氨 |
一，靛酚藍分(fēn)光(guāng)光(guāng)度法 |
GB/T18204.2（8.1） |
連續采樣至少45 min，一推薦采樣流量0.4 L/min，二推薦采樣流量1.0 L/min，第三法推薦采樣流量0.5 L/min |
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二，納氏試劑分(fēn)光(guāng)光(guāng)度法 |
HJ 533 |
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第三法，離(lí)子選擇電極法 |
GB/T14669 |
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12 |
苯 |
一，固體(tǐ)吸附-熱(rè)解吸-氣相(xiàng)色譜質譜法 二，固體(tǐ)吸附-熱(rè)解吸-氣相(xiàng)色譜法 第三法，活性炭吸附-二硫化碳解吸-氣相(xiàng)色譜法 第四法，便攜式氣相(xiàng)色譜法 |
附錄F 附錄C 附錄C 附錄C |
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13 |
甲苯 |
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14 |
二甲苯 |
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15 |
苯并[a]芘 |
高效液相(xiàng)色譜-熒光(guāng)檢測器法 |
附錄D |
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16 |
可(kě)吸入顆粒物 |
撞擊式——稱量法 |
附錄E |
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17 |
細顆粒物 |
撞擊式——稱量法 |
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18 |
總揮發性有機(jī)化合物 |
固體(tǐ)吸附-熱(rè)解吸-氣相(xiàng)色譜質譜法 |
附錄F |
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19 |
三氯乙烯 |
固體(tǐ)吸附-熱(rè)解吸-氣相(xiàng)色譜質譜法 |
附錄F |
/ |
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20 |
四氯乙烯 |
固體(tǐ)吸附-熱(rè)解吸-氣相(xiàng)色譜質譜法 |
附錄F |
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21 |
生(shēng)物性 指标 |
細菌總數 |
撞擊法 |
附錄G |
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22 |
放(fàng)射性 指标 |
氡222Rn |
一，固體(tǐ)徑迹測量方法 二，連續測量方法（篩選法） 第三法，活性炭盒測量方法（篩選法） |
附錄H |
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